硅烷即硅與氫的化合物（SiH4），是一系列化合物的總稱。硅烷因獨具許多特性而廣泛應用于電子、信息、能源、材料等領域，是許多未來新興產(chǎn)業(yè)所必不可少的一種氣體。高純硅烷氣工業(yè)總的發(fā)展趨勢是應用范圍越來越廣，產(chǎn)量需求越來越大，純度要求越來越高，有著巨大的市場潛力和發(fā)展機遇。但硅烷廢氣屬于有毒、易燃易爆的廢氣，它對人身體健康有傷害，因此，企業(yè)在工業(yè)生產(chǎn)活動過程產(chǎn)生硅烷廢氣，為了保持良好的工作條件和防止破壞自然環(huán)境，需要對工業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的硅烷廢氣進行凈化處理，顯得尤為重要。

硅烷廢氣具有易燃易爆的可燃性氣體，同時又屬于弱酸性氣體，因此，對于硅烷廢氣處理可采用堿洗法、燃燒法處理即可處理，接下來熙霖環(huán)保小編詳細介紹硅烷廢氣處理方法。

（1）堿洗法

將集氣罩收集硅烷廢氣通過管道輸送進入堿洗塔，經(jīng)堿洗塔酸堿中和收處理，達到國家排放標準后排放。

（2）燃燒法

燃燒法只在揮發(fā)性有機物在高溫及空氣充足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。